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芯源微推出浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)新品采用獨(dú)創(chuàng)的對(duì)稱分布高產(chǎn)能架構(gòu)

zhangli 　2022年12月17日 16:58

原標(biāo)題：芯源微推出浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)新品，已通過(guò)客戶端驗(yàn)證

12 月 17 日消息：芯源微是國(guó)內(nèi)涂膠顯影細(xì)分領(lǐng)域龍頭。該公司今日宣布，在公司成立二十周年之際召開新品發(fā)布會(huì)，推出最新一代的前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī) FT(III)300.

據(jù)介紹，該款機(jī)型采用獨(dú)創(chuàng)的對(duì)稱分布高產(chǎn)能架構(gòu)，滿配 36 Spin 處理單元，搭載自主研發(fā)的雙向同步取放機(jī)械手，可大幅提升整機(jī)的機(jī)械傳送產(chǎn)能和傳送精度，能夠匹配全球主流光刻機(jī)聯(lián)機(jī)生產(chǎn)，可在復(fù)雜工藝下實(shí)現(xiàn) 300 片以上產(chǎn)能。

該款機(jī)型通過(guò)選配可全面覆蓋 I-line、KrF、ArF dry、ArF 浸沒式等多種光刻技術(shù)，也適用包括 SOC、SOH、SOD 等在內(nèi)的其他旋涂類應(yīng)用。

為應(yīng)對(duì)未來(lái)光刻機(jī)產(chǎn)能的不斷提升，該機(jī)型還可擴(kuò)充至更多處理單元，同時(shí)實(shí)現(xiàn)在低占地面積下兼顧機(jī)臺(tái)易維護(hù)性，有效提升機(jī)臺(tái)維護(hù)效率。

IT之家了解到，該機(jī)型還可擴(kuò)充至更多處理單元，由目前的 36 Spin 擴(kuò)展為 48 Spin，產(chǎn)能提升到每小時(shí) 360 片，同時(shí)實(shí)現(xiàn)在低占地面積下兼顧機(jī)臺(tái)易維護(hù)性，有效提升機(jī)臺(tái)維護(hù)效率。

芯源微前道設(shè)計(jì)部總監(jiān)程虎表示，作為芯源微自主開發(fā)的第三代機(jī)型，浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)具有高產(chǎn)能、高工藝能力、高潔凈度、高擴(kuò)展性和易維護(hù)性等優(yōu)勢(shì)。目前，該款機(jī)型已通過(guò)客戶端驗(yàn)證，達(dá)到客戶量產(chǎn)要求，成功打破國(guó)外壟斷，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。

此外，機(jī)臺(tái)還搭載了公司開發(fā)的精確溫度調(diào)制(PTM)技術(shù)，使熱盤烘烤溫度均勻性達(dá)到業(yè)界領(lǐng)先水平;擁有全新的 Spin 單元實(shí)時(shí)控制技術(shù)，可有效提升機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制及流體控制精度、響應(yīng)性及穩(wěn)定性，持續(xù)為客戶降低成本;通過(guò)仿真優(yōu)化設(shè)計(jì)整機(jī)流場(chǎng)，確保內(nèi)部微環(huán)境均勻穩(wěn)定，提升整機(jī)的潔凈度等級(jí);全系列輔助功能單元，包含 AOI、WEE 系統(tǒng)等，可在線式檢測(cè)晶圓工藝缺陷，減少不良品流出。

來(lái)源：IT之家

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