盛美上海預(yù)計(jì)幾周內(nèi)將向中國一家集成電路客戶交付其首臺(tái)PECVD設(shè)備
12月14日消息，盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“盛美上海”)作為一家為半導(dǎo)體前道和先進(jìn)晶圓級(jí)封裝應(yīng)用提供晶圓工藝解決方案的領(lǐng)先設(shè)備供應(yīng)商，近日宣布推出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的Ultra PmaxTM等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備，拓展了一個(gè)重要的全新產(chǎn)品分類。盛美上海預(yù)計(jì)將在幾周內(nèi)向中國的一家集成電路客戶交付其首臺(tái)PECVD設(shè)備。
盛美上海首席執(zhí)行官王堅(jiān)表示：“Ultra PmaxTM PECVD設(shè)備的推出，標(biāo)志著我們在前道半導(dǎo)體應(yīng)用中進(jìn)一步擴(kuò)展到了全新的工藝領(lǐng)域。我們有很多客戶是28納米及以上的邏輯器件供應(yīng)商。我們預(yù)測到了成熟工藝節(jié)點(diǎn)產(chǎn)能的增加，因?yàn)橹袊袌龅某墒旃に嚬?jié)點(diǎn)產(chǎn)能明顯供不應(yīng)求。這款PECVD設(shè)備，使盛美上海在滿足全球先進(jìn)邏輯和存儲(chǔ)芯片市場需求的同時(shí)，也將更好地服務(wù)于全球客戶。我們預(yù)測，這次推出的PECVD設(shè)備，及上個(gè)月發(fā)布的前道涂膠顯影設(shè)備Ultra Lith，這兩個(gè)全新的產(chǎn)品系列將使我們?nèi)蚩煞?wù)市場規(guī)模翻倍增加。”
Ultra PmaxTM PECVD設(shè)備配置了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的腔體、氣體分配裝置和卡盤設(shè)計(jì)，能夠提供更好的薄膜均勻性，更小的薄膜應(yīng)力和更少的顆粒特性。該設(shè)備采用單腔體模塊化設(shè)計(jì)，有兩種配置：一種是可以配置一至三腔體模塊，適合極薄膜層或快速工藝步驟;另一種是可以配置四至五腔體模塊，在優(yōu)化產(chǎn)能的同時(shí)，支持厚膜沉積以及更長的工藝時(shí)間。以上兩種配置中，每個(gè)腔體都安裝有多個(gè)加熱卡盤，以優(yōu)化工藝控制并提高產(chǎn)能。
來源：TechWeb
IT時(shí)代網(wǎng)(關(guān)注微信公眾號(hào)ITtime2000，定時(shí)推送，互動(dòng)有福利驚喜)所有原創(chuàng)文章版權(quán)所有，未經(jīng)授權(quán)，轉(zhuǎn)載必究。
創(chuàng)客100創(chuàng)投基金成立于2015年，直通硅谷，專注于TMT領(lǐng)域早期項(xiàng)目投資。LP均來自政府、互聯(lián)網(wǎng)IT、傳媒知名企業(yè)和個(gè)人。創(chuàng)客100創(chuàng)投基金對(duì)IT、通信、互聯(lián)網(wǎng)、IP等有著自己獨(dú)特眼光和豐富的資源。決策快、投資快是創(chuàng)客100基金最顯著的特點(diǎn)。
熱門文章
精彩評(píng)論
小何華為現(xiàn)在牛的不只是設(shè)備商了，，華為的手機(jī)現(xiàn)在也是全球銷量不錯(cuò)，國內(nèi)也算是老大了，之前用小米，，現(xiàn)在都改華為了。。產(chǎn)品確實(shí)不錯(cuò)。- 小何三星手機(jī)在中國還有市場嗎？看看現(xiàn)在滿大街的vivo和oppo ，，華為，，小米線下店，，就是知道三星的市場基本沒有了。。
- 小何滴滴打車現(xiàn)在也沒有之前那么火了，，補(bǔ)貼也少了。。
來自: 【人物】滴滴創(chuàng)始人程維回顧與Uber競爭：中國互聯(lián)網(wǎng)從來沒有輸過--IT時(shí)代網(wǎng)
- 小何今日頭條要把騰訊的地方各頻道給霸占了。。
來自: 少年頭條對(duì)壘中年騰訊：解局兩代互聯(lián)網(wǎng)公司商業(yè)之戰(zhàn)--IT時(shí)代網(wǎng)